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等離子灰化機(jī) PR200/300/301

發(fā)布時(shí)間:2020-02-22 15:39:17瀏覽次數(shù):
從樣品表面改質(zhì)到清洗的小型臺(tái)式等離子清洗機(jī)
用途
●  高分子材料表面的官能基付與→粘合性、密著性提高。通   過氧化反應(yīng),在表面生成-OH,>C=O,-COOH等官能   基(微量的水分及二氧化碳影響)。   同樣在氮?dú)獾入x子體中,氮原子被吸收在表面中,生   成-NH 2等官能基。
●  硅晶圓蝕刻。
●  材料表面改性(金屬、聚合物、薄膜、陶瓷等)。
●  石棉預(yù)處理(膜過濾灰化)。
●  從電子設(shè)備到生化市場(chǎng)。
●  低溫灰化(高分子材料、煤炭、食品等)。
●  使用玻璃和PDMS板粘貼PDMS芯片。
●  表面有機(jī)物去除
特點(diǎn)
●  RF為200 W的高性能輸出類型(PR200)。
●  由于是尺寸緊湊的臺(tái)式機(jī),很小的位置都可以安裝。
●  同步,自動(dòng)調(diào)諧,操作簡(jiǎn)單(PR200)。
●  等離子體反應(yīng)器(灰化設(shè)備)(PR200)。
●  同步、自動(dòng)調(diào)諧(PR200)。

反應(yīng)腔

[例]石棉分析前處理

規(guī)格

型號(hào)

PR200

PR300

PR301

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出

Max300W

頻率

13.56MHz

同調(diào)方式

手動(dòng)2軸同調(diào)方式

反應(yīng)部

反應(yīng)腔

耐熱玻璃 Φ100×160mm

超硬質(zhì)玻璃 Φ64×160mm×3室

耐熱玻璃 Φ118×160mm

反應(yīng)氣體

1系統(tǒng)(氧氣)流量計(jì)

控制

手動(dòng)密閉閥

自動(dòng)減壓、自動(dòng)密閉閥

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍、銅、銅合金

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W350×D400×H500mm

W438×D520×H556mm

W438×D520×H630mm

重量

約10kg

約36kg

約34kg

電源

AC100V 15A

AC100V 7A


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